Sample treatment: Metalización (Sputtering)

El Servicio General de la Sala Blanca del Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid (ICMM-CSIC) está concebido como un Servicio Intercentros dentro del Campus de Excelencia CSIC-UAM, que además cuenta con usuarios externos, principalmente de grupos pertenecientes a centros de la Comunidad de Madrid. La instalación de este laboratorio comenzó en 2011, estando en la actualidad en marcha prácticamente todas sus técnicas de micro-nanofabricación. Actualmente la sala blanca es de clase 10000 y está dotada con las siguientes técnicas y facilidades (algunos aportados por distintos grupos de investigación del ICMM). - Caja seca de 4 guantes con control de humedad y oxígeno hasta 1ppm. Dentro de la caja seca hay un sistema de spin-coating integrado. - Evaporadora para metales y grafito. - Sistema de depósito por sputtering con un magnetrón. - Fotolitografía UV con resolución de 0.8 micrómetros. - Spin-coating - Cabina de flujo laminar - Equipo de deposición de chapas atómicas (ALD)

Equipos: dos microscopios electrónicos de barrido, uno de Emisión de Campo (FESEM) HITACHI SU8600, y otro de presión variable (VPSEM), HITACHI S-3500N. El SU8600, está equipado con los siguientes detectores: 2 de electrones secundarios, dos de retrodispersados y dos de rayos X por dispersión de energías (EDS, BRUKER QUANTAX XFlash 7) para la realización de microanálisis. Un detector STEM para campo claro y campo oscuro. El S-3500N dispone de un detector de secundarios, uno de retrodispersados, de un espectrómetro EDS (BRUKER QUANTAX 200 y detector XFlash 6/30) y de un crio-SEM (QUORUM PP3000T) para el estudio de muestras crio-fijadas. Preparación de muestras: secado por punto crítico (LEICA EM CPD300), metalización por sputtering con cromo, iridio u oro y evaporación de carbón (QUORUM Q150T Plus). 8 Microscopios Ópticos (OLYMPUS- BX40F4, OLYMPUS-BX61, LEITZ-DM IL, 2 NIKON-DIAPHOT-200, ZEISS-AXIOVERT, LEICA-DM IRB S8F, ZEISS-Colibri), la mayoría equipados con epifluorescencia.