- Área de investigación
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- Ciencia y Tecnologías Físicas
- Instituto
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- INSTITUTO DE MICRO Y NANOTECNOLOGIA
- Importe
- 860.865,00 €
Sistema de litografía por haz de electrones con resolución inferior a 10 nm y capacidad de escritura continua para patrones tanto alargados como periódicos
Integrantes: