Área de investigación Ciencia y Tecnologías Físicas, Matemáticas, Robótica y Computación Instituto INSTITUTO DE MICROELECTRONICA DE BARCELONA Importe 338.700,00 € APLICACION DE METODOS AVANZADOS DE IRRADIACION CON IONES PARA EL DESARROLLO DE CAPAS FINAS CON AJUSTE DE SUPERCONDUCTIVIDAD PARA SENSADO CUANTICO