Microfabricación e integración de sensores y fuentes de energía

Consideramos el uso de micro-nanotecnologías para obtener dispositivos construidos a partir de microestructuras con una arquitectura que les confiere una funcionalidad (estructuras resonantes, estructuras térmicas aisladas, topografía 3D ...) y en ocasiones la síntesis de materiales sensibles o funcionales,que permiten la interacción con el medio. Así, al transducir fenómenos físicos o químicos en electricidad, se puede obtener información y energía del entorno dando lugar a sensores, fuentes de microenergía y, eventualmente, sensores autónomos o autoalimentados. Los materiales utilizados son aquellos comúnmente relacionados con la tecnología de silicio (IC y MEMS), complementados con materiales poliméricos funcionales o materiales estructurales basados ​​en polímeros / papel y sus tecnologías asociadas. En todos los casos, las tecnologías son escalables y los materiales abundantes y respetuosos con el medio ambiente, por lo que es posible una producción sostenible.