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- Madrid (Madrid)
Caracterización y Crecimiento de Capas Delgadas
El Laboratorio de Caracterización y Crecimiento de Capas Delgadas dispone de los siguientes equipos y servicios:
• Perfilómetria: de contacto, marca Veeco, mod. Dektak 150. y optica, Profile3D ScienTec
• Espectrómetro Raman, EZ-Raman-N de Enwave Optronics, con microscopio LEICA DM300 y láser Nd:YAG de 532 nm.
• Emisómetro portátil marca Devices & Service Company (modelo AE1)
• Analizador GDOES, mod. RF-GD-Profiler, marca Horiba Jobin Yvon, con ánodo de 4mm.
• Espectrofotómetro UV-Visible-IR cercano, Shimadzu mod. Solidspec-3700 con esfera integradora, 190 nm-3300nm.
• Nanoindentador, mod. NanoTest P1, marca MicroMaterials, con péndulo de 500mN y punta piramidal Berkovich.
• Sistemas de depósito capas delgadas:(i) Sputtering magnetrón para crecimiento de metales, óxidos y nitruros;(ii) Evaporación térmica mediante dos cañones de electrones y asistencia con haces de iones.
•. Tratamientos térmicos en atmósfera controladada.
- Deposición física desde fase vapor: Evaporación por haz de electrones
- Deposición física desde fase vapor: Sputtering Magnetron
- Determinación de la dureza: Vickers, Rockwell, Brinell
- Determinación de la resistencia al desgaste
- Medidas electricas locales: Resistividad
- Perfilometría
- Spectroscopy: Raman
- Spectroscopy: UV - Visible spectral reflectometry